台式电镜-能谱一体机

飞纳电镜-复纳科学仪器（上海）有限公司（Phenom Pure）

逸夫楼2楼

魏博

18703028892

一、仪器设备照片

二、功能用途：

主要参数：

工作条件

1.1电源：110~240伏，50/60赫兹，300瓦

1.2温度：操作环境15℃-30℃

1.3湿度：<80%RH

2、性能指标

2.1放大倍率：集成在电镜中的光学显微镜放大20倍，电子放大65 000倍

2.2背散射电子探测器分辨率：优于14nm

2.3加速电压：5Kv-10kV连续可调，束斑直径大小可连续可调

2.4灯丝材料：CeB6，灯丝单根寿命：>1500h；灯丝仓与电子仓、样品仓三仓分离，观察绝缘体不影响灯丝寿命；预抽真空时间：小于15s

2.5真空技术：置有真空分级技术，低真空观测灯丝不受影响

2.6样品台移动控制方式：自动样品台控制，高清屏操作界面配合样品，具有X、Y坐标回位功能

2.7图像观测导航界面：光学导航界面与电子导航界面，电子光学导航，实现鼠标点到哪看到哪，操作方便

2.8检测信号：高灵敏度背散射电子探测器

2.9从开始载样到成像时间：30s

2.10观察模式：全面模式（形貌和成分）、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）针对已保存图片，选中保存图片，即可一键还原到原来位置，并还原图片原有参数

2.11图像格式：JPG，TIFF，BMP

2.12图像分辨率：456*456，684*684，1024*1024，2048*2048

2.13真空系统：隔膜泵，涡轮分子泵

2.14软件平台：Linux系统，对病毒免疫

2.15数据存储：移动硬盘或者电脑、网络存储

2.16防震设计：对放置环境无特殊要求，无需额外的减震装置，可以随意搬至现场进行检测

2.17远程检测：具有终身免费远程诊断功能，通过联网专业工程师可随时远程诊断，低维修成本，提高响应效率

3、能谱参数

3.1探测器类型：氮化硅硅漂移探测器（SDD）

3.2探测器晶体活性面积：30mm2

3.3冷却方式：无液氮Peltier效应制冷

3.4能量分辨率：<133eV

3.5元素探测范围：B（5）- Am（95）

3.6元素分析：自动和手动元素确认

3.7窗口类型：超轻薄轻元素Si3N4窗口

3.8最大技术率：优于1000 000cps

3.9免维护性：无需液氮

3.10硬件结构：探测器、前置放大器、数字处理器及电源的一体化设计

3.11能谱应用软件特殊功能：可自动或手动进行元素谱峰识别，并可利用可视化峰剥离技术验证重峰识别的正确性

3.12检测限：0.1%

3.13可支持图片最大像素：2048*2048

3.14可使用电压范围：110-240V

3.15接口：USB2.0

三、仪器设备操作（操作要点与注意事项）

1、确保样品干燥无挥发，尤其不可测含有有机溶剂样品；

2、请勿在样品杯上制样，制样时确保样品粘贴牢固，用压缩气体大力吹扫；

3、装载样品：1）用专用镊子夹持样品台，竖直插入样品杯；

             2）顺时针旋转金属环，使样品最高点降至与杯口齐平；

             3）打开舱门，插入样品杯，试样灯自动亮起，关闭舱门（请勿大力开合舱门）。

4、使用完毕后，请保持设备待机，以节约灯丝寿命。

四、其他

使用前请认真学习设备上方粘贴的《使用须知及操作指南》，如有问题，请及时与责任教师或责任同学联系。